准分子激光混合气

是指受到电子束激发的惰性气体和卤素气体结合的混合气体形成的分子向其基态跃迁时发射所产生的激光，通常都在紫外波段。准分子激光气体是激光发生器的关键气体，包含卤素元素，并辅助一定比例的稀有气体。通常的，准分子激光气体是F2, He, Ne, Kr, Xe的混合物。

准分子激光器以其高光子能量所称著，准分子激光器站在了尖端工业激光解决方案的最前沿。作为当今最有效、最可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光器有效地推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医疗、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。