四氟化碳

产品简介

四氟化碳

用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体，用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，四氟化碳高纯气及四氟化碳高纯气、高纯氧的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

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产品信息

四氟化碳产品特征:

分子量: 88.01 g/mol
CAS No.: 75-73-0

相对蒸气密度(空气= 1): 3.038

相对密度(水= 1): 1.96

组分	杂质含量	等级	包装方式	包装尺寸	重量
CF₄ 99.9%		3N	钢瓶	40L
CF₄ 99.999%		5N	钢瓶	40L