气体纯度的表示方法：

1、用百分数表示，如99%，99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。

2、用“N”表示，如3N，5N，4.8N，5.5N，6N，7N等，N数目与（1）中的“9”的个数相对应，小数点后的数表示不足“9”的数。如4N（99.99%）、6N（99.9999%）、,7N(99.99999%)、,4.8N(99.998%)、5.5N(99.9995%)等。
杂质含量分为常量、微量和痕量，对于微量和痕量杂质一般指ppm～ppb范围。杂质浓度：1ppm=10-4%；1ppb=10-7%；1ppt=10-10%。
根据气体纯度的不同，通常又将气体纯度分为四级，即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体，下表给出气体纯度等级和电子器件生产工艺上的应用。


气体等级
纯度要求
电子器件生产工艺上的应用
普通气体
＜99.99%
一般器件
纯气体
99.99～＜99.999%
晶体管和晶闸管等
高纯气体
99.999～＜99.9999%
大规模集成电路和特殊器件等
超纯气体
≥99.9999%
超大规模集成电路和特大规模集成电路等