气体纯度的表示方法:
1、用百分数表示,如99%,99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。
2、用“N”表示,如3N,5N,4.8N,5.5N,6N,7N等,N数目与(1)中的“9”的个数相对应,小数点后的数表示不足“9”的数。如4N(99.99%)、6N(99.9999%)、,7N(99.99999%)、,4.8N(99.998%)、5.5N(99.9995%)等。
杂质含量分为常量、微量和痕量,对于微量和痕量杂质一般指ppm~ppb范围。杂质浓度:1ppm=10-4%;1ppb=10-7%;1ppt=10-10%。
根据气体纯度的不同,通常又将气体纯度分为四级,即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体,下表给出气体纯度等级和电子器件生产工艺上的应用。
气体等级 | 纯度要求 | 电子器件生产工艺上的应用 |
普通气体 | <99.99% | 一般器件 |
纯气体 | 99.99~<99.999% | 晶体管和晶闸管等 |
高纯气体 | 99.999~<99.9999% | 大规模集成电路和特殊器件等 |
超纯气体 | ≥99.9999% | 超大规模集成电路和特大规模集成电路等
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